[发明专利]一种利用匹配层复合压电振子高频超声抛光装置及方法

摘要

一种利用匹配层复合压电振子高频超声抛光装置及方法，涉及一种超声波复合抛光的装置及方法，装置由超声振动附加系统和传统化学机械抛光系统两部分组成；超声附加系统包括压电陶瓷、匹配层Ⅰ、被抛光件，以及相应的电输入设备；该方法由压电振子产生的高频超声须透过含被抛光件在内的双层匹配层作用到抛光界面，粘贴在压电陶瓷上的匹配层Ⅰ的材料与厚度根据被抛光件的材料与厚度变化进行调整选择；高频超声声波频率在数百千赫兹到数兆赫兹的高频超声域；压电陶瓷薄片用大功率辐射型，且工作在自身的厚度谐振振动模式。本发明可实现对不同材料、不同区域的超声波辅助化学机械精抛光或粗抛光的过程。

主权项

一种利用匹配层复合压电振子高频超声抛光方法，其特征在于，所述方法为匹配层结构的高频超声抛光方法，包括由压电振子产生的高频超声须透过含被抛光件在内的双层匹配层作用到抛光界面，粘贴在压电陶瓷片上的匹配层Ⅰ的材料与厚度根据被抛光件的材料与厚度变化进行调整选择；高频超声声波频率在数百千赫兹到数兆赫兹的高频超声域；压电陶瓷片用大功率辐射型，且工作在自身的厚度谐振振动模式；根据不同的超声作用强度要求，调整匹配层Ⅰ材料与厚度，使其工作在最高声透射效率或较低声透射情况；粘接胶层选用声阻抗参数接近匹配层Ⅰ的环氧树脂胶层，胶层应薄而均匀，应达到可忽略其对声透射影响的效果。