[发明专利]基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台

摘要

本发明提供一种基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，包括定平台、动平台、设置在定平台上的驱动器和用于连接定平台和动平台的三个杠杆放大机构；三个杠杆放大机构均匀布设在动平台的外围，并分别与定平台、动平台和驱动器连接；其中，每个杠杆放大机构包括活动杠杆、双柔顺铰链和设置有双柔顺铰链的导向机构；活动杠杆通过双柔顺铰链分别与定平台和驱动器连接，并通过导向机构与动平台连接；双柔顺铰链为对称型双柔顺铰链。该微定位平台在满足安装空间和固定频率等各种条件的前提下，可提高位移定位精度和获得尽量大的行程；其具有矫正位移输出功能的微定位平台，使得位移尽量呈线性输出，从而减小耦合位移。

主权项

一种基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于：包括定平台、动平台、设置在定平台上的驱动器和用于连接定平台和动平台的三个杠杆放大机构；所述三个杠杆放大机构均匀布设在动平台的外围，并分别与定平台、动平台和驱动器连接；其中，每个杠杆放大机构包括活动杠杆、双柔顺铰链和设置有双柔顺铰链的导向机构；所述活动杠杆通过双柔顺铰链分别与定平台和驱动器连接，并通过导向机构与动平台连接；所述双柔顺铰链为对称型双柔顺铰链；所述双柔顺铰链包括双柔顺铰链一和双柔顺铰链二；所述导向机构中的双柔顺铰链为双柔顺铰链三；双柔顺铰链一、双柔顺铰链二和双柔顺铰链三均为对称型双柔顺铰链；所述活动杠杆通过双柔顺铰链分别与定平台和驱动器连接，并通过导向机构与动平台连接是指：所述活动杠杆的第一侧边与动平台相对并具有间隙一；活动杠杆的第二侧边与定平台相对并具有间隙二；活动杠杆中与第一侧边相对的第三侧边通过双柔顺铰链一与定平台连接；活动杠杆中与第二侧边相对的第四侧边的中部与定平台相对并具有间隙三，第四侧边的两侧分别通过双柔顺铰链二和导向机构与驱动器和动平台连接；其中，间隙一、间隙二和间隙三均相等；所述双柔顺铰链一由两个相同的单柔顺铰链组成，两个单柔顺铰链背对对称设置；所述双柔顺铰链二和双柔顺铰链三均由两个相同的单柔顺铰链组成，两个单柔顺铰链正对对称设置；所述导向机构包括柔顺铰链三和连接在柔顺铰链三之间的连杆。