[发明专利]2D共焦位移传感器在审
| 申请号： | 201510613174.X | 申请日： | 2015-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN106556353A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 时博洋 | 申请（专利权）人： | 上海思信科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松江区沪*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种2D共焦位移传感器，共焦位移传感器的测头的聚焦部和色散部做成两节，聚焦部和色散部交叉安装，在聚焦部和色散部的中间安装MEMS微镜片震动系统。MEMS微镜片震动系统包括MEMS微镜片和控制MEMS微镜片的单片机。本发明提供的一种2D共焦位移传感器，提升了原单点位移传感器可以测量应用的范围，可以在不要其他运动的机构的前体下实现2D形貌数据的测量，依靠单独一个光路一块光谱仪检测，比用多光、多路光谱检测实现的成本更低，结构更紧凑小巧。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 传感器 | ||
【主权项】：
一种2D共焦位移传感器，其特征在于：共焦位移传感器的测头的聚焦部和色散部做成两节，聚焦部和色散部交叉安装，在聚焦部和色散部的中间安装MEMS微镜片震动系统。
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