[发明专利]水膜厚度测量仪在审
| 申请号： | 201510615231.8 | 申请日： | 2015-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN106556349A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 时博洋 | 申请（专利权）人： | 上海思信科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松江区沪*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水膜厚度测量仪，其中，包括安装框架，所述安装框架内设置共焦位移计测头，所述共焦位移计测头的上方设置参考玻璃，所述共焦位移计测头的下方设置XY检测基准台面。本发明提供的水膜厚度测量仪，解决了从1微米到1000微米更大范围内水膜厚度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 厚度 测量仪 | ||
【主权项】：
一种水膜厚度测量仪，其特征在于：包括安装框架，所述安装框架内设置共焦位移计测头，所述共焦位移计测头的上方设置参考玻璃。
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