[发明专利]一种谐振型磁传感器有效
| 申请号： | 201510615695.9 | 申请日： | 2015-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN106556803B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 卞雷祥;杨富锋;芮筱亭 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 唐代盛;孟睿 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种谐振型磁传感器，包括三梁结构谐振音叉、压电驱动单元、压电检测单元以及锁相振荡电路；所述三梁结构谐振音叉由磁致伸缩材料制作而成，具有三个双端固定的振动梁；压电驱动单元和压电检测单元复合在所述三梁结构谐振音叉的中间梁的两端；压电驱动单元和压电检测单元分别通过其电极与锁相振荡电路的输入端和输出端连接；锁相振荡电路用于激励和维持三梁结构谐振音叉在优化振动模态下振荡，并输出代表三梁音叉谐振频率的电信号。由于磁致伸缩材料的弹性模量随静态磁场变化，三梁结构谐振音叉的谐振频率也随磁场变化，因此本发明可用于静态和准静态磁场的高灵敏度探测，且体积小、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种谐振型磁传感器，其特征在于，包括三梁结构谐振音叉、压电驱动单元、压电检测单元以及锁相振荡电路；所述三梁结构谐振音叉为一体化片状结构的谐振器，由磁致伸缩材料制作而成，具有三个双端固定的振动梁；压电驱动单元和压电检测单元均为具有上电极和下电极的压电材料薄膜，压电驱动单元和压电检测单元分别复合在所述三梁结构谐振音叉的中间梁的两端，且下电极均接地；压电驱动单元和压电检测单元分别通过其电极与锁相振荡电路的输入端和输出端连接；锁相振荡电路用于激励和维持三梁结构谐振音叉在选定的优化振动模态下振荡，并输出代表三梁音叉谐振频率的电信号；压电驱动单元从中间梁端部驱动三梁结构谐振音叉在所述优化振动模态下振荡时，其中间梁的振动方向与两个侧梁的振动方向相反。
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