[发明专利]一种台阶段差在线测量方法在审
| 申请号： | 201510615980.0 | 申请日： | 2015-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN106556360A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 时博洋 | 申请（专利权）人： | 上海思信科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松江区沪*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种台阶段差在线测量方法，其中，将共焦位移计测头设置在音圈电机驱动台上，使用音圈电机驱动台带动共焦位移计测头进行高度方向数据扫描测量；将音圈电机驱动台的移动坐标，按照预设的固定间距对应每个共焦位移计测量的高度值；在二次仪表上，将此两数值一一对应绘制出被扫描物体的表面二维轮廓曲线；在二维轮廓数据上选择任意两点，点与点间的共焦位移计测量值差是高度差，点与点的平面坐标差是距离差，通过二次仪表设置、计算得出高度差或者宽度差。本发明提供的一种台阶段差在线测量方法，可以实现非接触测量，不会划伤样品表面，测头不会因测量使用次数的累加而进度下降。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阶段 在线 测量方法 | ||
【主权项】：
一种台阶段差在线测量方法，其特征在于：将共焦位移计测头设置在音圈电机驱动台上，使用音圈电机驱动台带动共焦位移计测头进行高度方向数据扫描测量；将音圈电机驱动台的移动坐标，按照预设的固定间距对应每个共焦位移计测量的高度值；在二次仪表上，将此两数值一一对应绘制出被扫描物体的表面二维轮廓曲线；在二维轮廓数据上选择任意两点，点与点间的共焦位移计测量值差是高度差，点与点的平面坐标差是距离差，通过二次仪表设置、计算得出高度差或者宽度差。
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