[发明专利]一种共焦划痕在线检测方法在审

专利信息
申请号: 201510616001.3 申请日: 2015-09-24
公开(公告)号: CN106556344A 公开(公告)日: 2017-04-05
发明(设计)人: 时博洋 申请(专利权)人: 上海思信科学仪器有限公司
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G01B11/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201600 上海市松江区沪*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种共焦划痕在线检测方法,其中,将共焦位移计测头安装在音圈电机驱动滑台上,使用音圈电机驱动滑台带动共焦位移计测头对被检测物体表面进行高度方向数据扫描测量;将音圈电机驱动滑台的移动坐标,按照预设的固定间距对应每个共焦位移计测头测量的高度值,将此两数值一一对应绘制出扫描物体的表面二维轮廓;在二维轮廓曲线上,通过图形抽取,找出呈三角形的轮廓曲线,三角形底边长度为划痕宽度,三角形底边高度为划痕深度。本发明提供的一种共焦划痕在线检测方法,相比传统视觉检测可以检测更浅的划痕,最小可以检测划痕0.005mm深,0.05宽。
搜索关键词: 一种 划痕 在线 检测 方法
【主权项】:
一种共焦划痕在线检测方法,其特征在于:将共焦位移计测头安装在音圈电机驱动滑台上,使用音圈电机驱动滑台带动共焦位移计测头对被检测物体表面进行高度方向数据扫描测量;将音圈电机驱动滑台的移动坐标,按照预设的固定间距对应每个共焦位移计测头测量的高度值,将此两数值一一对应绘制出扫描物体的表面二维轮廓;在二维轮廓曲线上,通过图形抽取,找出呈三角形的轮廓曲线,三角形底边长度为划痕宽度,三角形底边高度为划痕深度。
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