[发明专利]一种共焦划痕在线检测方法在审
申请号: | 201510616001.3 | 申请日: | 2015-09-24 |
公开(公告)号: | CN106556344A | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 时博洋 | 申请(专利权)人: | 上海思信科学仪器有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201600 上海市松江区沪*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种共焦划痕在线检测方法,其中,将共焦位移计测头安装在音圈电机驱动滑台上,使用音圈电机驱动滑台带动共焦位移计测头对被检测物体表面进行高度方向数据扫描测量;将音圈电机驱动滑台的移动坐标,按照预设的固定间距对应每个共焦位移计测头测量的高度值,将此两数值一一对应绘制出扫描物体的表面二维轮廓;在二维轮廓曲线上,通过图形抽取,找出呈三角形的轮廓曲线,三角形底边长度为划痕宽度,三角形底边高度为划痕深度。本发明提供的一种共焦划痕在线检测方法,相比传统视觉检测可以检测更浅的划痕,最小可以检测划痕0.005mm深,0.05宽。 | ||
搜索关键词: | 一种 划痕 在线 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种共焦划痕在线检测方法,其特征在于:将共焦位移计测头安装在音圈电机驱动滑台上,使用音圈电机驱动滑台带动共焦位移计测头对被检测物体表面进行高度方向数据扫描测量;将音圈电机驱动滑台的移动坐标,按照预设的固定间距对应每个共焦位移计测头测量的高度值,将此两数值一一对应绘制出扫描物体的表面二维轮廓;在二维轮廓曲线上,通过图形抽取,找出呈三角形的轮廓曲线,三角形底边长度为划痕宽度,三角形底边高度为划痕深度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海思信科学仪器有限公司,未经上海思信科学仪器有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510616001.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种带有散热孔的接触角测量仪
- 下一篇:立式钢卷塔形高度测量装置及方法