[发明专利]终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法

摘要

本发明是终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法，它属于光学元件检测技术领域。本发明为了解决晶体双折射效应引起的重影干扰以及光学元件损伤尺寸的定量检测问题。具体步骤包括通过结合晶体双折射效应与几何光学成像公式计算出光学元件上损伤点在成像系统中的o光像与e光像的坐标位置；对每对孪生像进行重影剔除；利用孤立点与合并后的孪生像的灰度积分与物理尺寸对应关系拟合定标曲线和定标方程；利用定标关系曲线和定标方程对FODI在线图像中未测的孤立点和孪生像进行尺寸的定量检测。本发明适用于光学元件检测技术领域。

主权项

终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法，其特征在于基于孪生像尺寸的定量检测方法包括以下步骤：步骤一、在终端光学元件在线检测系统FODI上通过终端光学元件晶体双折射效应得到光学元件上M×N个损伤点在成像系统中的o光像与e光像的坐标位置，分析并找出M×N对孪生像坐标所满足的位置关系与能量关系；步骤二、根据o光像与e光像的坐标位置关系，把e光像作为重影像，e光像的灰度积分值合并到o光像上，保留合并能量后的o光像作为损伤点的唯一像，剔除e光像；步骤三、对终端光学元件在线检测系统FODI在线检测的损伤点进行辐射定标，找出孤立点与剔除重影后的孪生像作为样本点，得到孤立点与剔除重影后的孪生像的灰度积分值，把终端光学元件在线检测系统FODI在线成像对应的光学元件放在离线测量平台下测出样本点对应的实际物理尺寸，利用样本点的灰度积分与物理尺寸对应关系拟合出定标曲线与定标方程；步骤四、利用定标曲线和定标方程对终端光学元件在线检测系统FODI在线成像中未测的孤立点和孪生像进行尺寸的定量检测。