[发明专利]一种太阳能电池的制绒工艺

摘要

本发明涉及机械加工技术领域，具体是涉及一种太阳能电池的制绒工艺。首先将电池基片放置于等离子体处理腔室内，然后在表面蚀刻前向基片上喷洒了触发剂，最后对基片的表面蚀刻和侧壁保护以形成绒面。所述触发剂由5份聚二甲基硅氧烷、5份乙酸乙酯、0.5份土木香内酯、5份水杨酸甲酯、5份氯化钠和79.5份水制成。本发明的太阳能电池的制绒工艺，操作工艺简洁，重点在于先在表面蚀刻前向基片上喷洒触发剂，然后对基片的表面蚀刻和侧壁保护以形成绒面的步骤，同时，通过合理设计触发剂的配方，从而使后续的表面蚀刻和侧壁保护步骤能够完成的更好。

主权项

一种太阳能电池的制绒工艺，首先将电池基片放置于等离子体处理腔室内，然后对基片的表面蚀刻和侧壁保护以形成绒面，其特征在于，在表面蚀刻前向基片上喷洒了触发剂，所述触发剂由5份聚二甲基硅氧烷、5份乙酸乙酯、0.5份土木香内酯、5份水杨酸甲酯、5份氯化钠和79.5份水制成。