[发明专利]平板状部件吸附装置

摘要

本发明提供一种不使得平板状部件吸附装置整体的结构变得庞大，便能通过简单的操作来形成与平板状部件的尺寸相对应的吸附区域的平板状部件吸附装置。本发明的平板状部件吸附装置具有与基底板210层叠，且可被设在基准位置和滑动位置上的部件对面板220，在基底板210上设有基底板侧吸附孔211，在部件对面板220上设有部件对面板侧吸附孔221，部件对面板侧吸附孔221由基准吸附孔221a和设在基准吸附孔之间的追加吸附孔221b、追加吸附孔221c构成，当把部件对面板220设在基准位置时基准吸附孔221a与基底板侧吸附孔211对向从而形成基准吸附区域，当设在滑动位置时，例如，追加吸附孔221b与基底板侧吸附孔211对向从而形成具有与基准吸附区域不同大小的特定吸附区域。

主权项

1.一种负压吸附平板状部件的平板状部件吸附装置，其特征在于，具有：基底板，被安装在形成负压室的吸附装置本体上；以及部件对面板，与所述平板状部件对面，并与所述基底板在平面上以密接的状态层叠，可相对于基底板被设定在基准位置以及从该基准位置进行滑动后的滑动位置上，其中，在所述基底板上，多个吸附孔作为基底板侧吸附孔被设置，在所述部件对面板上，多个吸附孔作为部件对面板侧吸附孔被设置，所述基底板侧吸附孔以预定的配置被设置在所述基底板上，所述部件对面板侧吸附孔由复数个的基准吸附孔及追加吸附孔所构成，所述复数个的基准吸附孔被设置为当所述部件对面板位于所述基准位置时，与所述基底板侧吸附孔中的全部的吸附孔或所述基底板侧吸附孔中的预定的吸附孔相对向，所述追加吸附孔在所述部件对面板的预定区域中被设置在沿着该部件对面板的滑动方向相邻的基准吸附孔之间，当所述部件对面板位于所述基准位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成基准吸附区域，当所述部件对面板位于所述滑动位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成具有与所述基准吸附区域不同大小的特定吸附区域，存在被设在所述相邻的基准吸附孔之间的所述追加吸附孔沿着所述滑动方向被设置n个(n为2以上的整数)的区域，在将该n个的追加吸附孔沿着滑动方向依次从第一段的追加吸附孔设置到第n段的追加吸附孔时，所述滑动位置可以设定为从所述第一段到所述第n段的n个阶段，通过在所述n个阶段的各个滑动位置上所述n个的追加吸附孔依次与所述基底板的基底板侧吸附孔相对向，从而在所述n个阶段的各个滑动位置上所述特定吸附区域被形成为各不相同的大小。