[发明专利]位移检测方式的六轴力传感器

摘要

本发明提供六轴力传感器，其具备固定部、第一可动部、将第一可动部连结为能够相对于固定部弹性地位移的第一连结部、第二可动部、将第二可动部连结为能够相对于第一可动部弹性地位移的第二连结部、检测第一可动部相对于固定部的位移量的第一检测部、以及检测第二可动部相对于第一可动部的位移量的第二检测部。六轴力传感器根据由第一检测部检测到的检测值以及由第二检测部检测到的检测值，能够检测施加于第二可动部的力的、正交三轴坐标系中的第一轴的方向的力成分、第二轴的方向的力成分、第三轴的方向的力成分、绕第一轴的力矩成分、绕第二轴的力矩成分以及绕第三轴的力矩成分。

主权项

一种六轴力传感器，其特征在于，具备：固定部，其具有沿正交坐标系中第三轴的假想平面展开的第一固定面；第一可动部，其具有与上述第一固定面平行地对置的第一可动面，并且具有沿与上述第三轴正交的假想平面展开的第二固定面；第一连结部，其在正交三轴坐标系中，将上述第一可动部连结为能够相对于上述固定部在与第一轴平行的方向、与正交于该第一轴的第二轴平行的方向、以及以与该第一轴和该第二轴双方正交的第三轴为中心的旋转方向上弹性地位移；第二可动部，其具有与上述第二固定面平行地对置的第二可动面；第二连结部，其在上述正交三轴坐标系中，将上述第二可动部连结为能够相对于上述第一可动部在以上述第一轴为中心的旋转方向、以上述第二轴为中心的旋转方向、以及与上述第三轴平行的方向上弹性地位移；第一检测部，其基于上述第一固定面与上述第一可动面的相对移动，检测上述第一可动部相对于上述固定部的位移量；以及第二检测部，其基于上述第二固定面与上述第二可动面的相对移动，检测上述第二可动部相对于上述第一可动部的位移量，根据由上述第一检测部检测到的检测值以及由上述第二检测部检测到的检测值，能够检测施加于上述第二可动部的力的、上述第一轴的方向的力成分、上述第二轴的方向的力成分、上述第三轴的方向的力成分、绕上述第一轴的力矩成分、绕上述第二轴的力矩成分、以及绕上述第三轴的力矩成分。