[发明专利]一种用于准球形丝阵负载制备的微调装置

摘要

本发明提供了一种用于准球形丝阵负载制备的微调装置，所述的微调装置包括准球形丝阵负载和微调机构两部分，微调机构设置有对中和联动两个过程，通过细长轴、空心轴、条形板联轴器、U形钳状联轴器、精密位移平台、旋转手柄等完成这两个过程，通过波纹管联轴器消除两轴轴线相对偏差的位移能力，保证零回转间隙。本发明的结构简单、连接可靠、使用维护方便，易于实现准球形丝阵负载制备的微调控制。

主权项

一种准球形丝阵负载制备的微调装置，其特征在于，所述的微调装置含有准球形丝阵负载和微调机构两部分；所述的准球形丝阵负载安装在加速器阴极板（1）和加速器阳极板（4）的中心位置，微调机构安装在加速器大盖板（24）的中心孔位置；所述的加速器阳极板（4）位于加速器阴极板（1）前端，加速器阴极板（1）、加速器阳极板（4）、加速器大盖板（24）相互平行且位于同一条中心轴线上；所述的准球形丝阵负载包括阴极大盘（2）、阴极菇头（3）、回流罩（5）、回流柱（6）、阳极大板（7）、阳极柱（8）、金属丝（25）、压块（36）；其连接关系为，所述阴极大盘（2）位于加速器阴极板（1）的中心轴线上，通过螺钉联接在加速器阴极板（1）上，阴极菇头（3）位于阴极大盘（2）的中心轴线上，通过螺钉联接在阴极大盘（2）上，阴极菇头（3）的头部高出加速器阳极板（4）的平面；所述的回流罩（5）位于加速器阳极板（4）的中心轴线上，通过压块（36）和螺钉联接在加速器阳极板（4）上；所述阳极大板（7）位于加速器阳极板（4）的中心轴线上，通过回流柱（6）联接在回流罩（5）的前端；所述阳极柱（8）位于阳极大板（7）的中心轴线上，阳极柱（8）在阳极大板（7）的中心孔位置轴向前后移动；所述金属丝（25）分别挂在阴极菇头（3）和阳极柱（8）之间，通过改变阳极柱（8）相对于阳极大板（7）的前后距离调整金属丝（25）的物理成型；所述的阳极大板（7）由前端板和支板构成，支板垂直于前端板，位于加速器阳极板（4）中心轴线的正下方的圆周面上，支板上开有安装孔，支板的板面与地面平行；所述的微调机构包括绝缘支板（9）、精密位移平台（10）、条形板联轴器（11）、U形钳状联轴器（12）、波纹管联轴器（13）、细长轴（14）、空心轴（15）、法兰座体（16）、止转螺母（17）、旋转手柄Ⅰ（19）、旋转手柄Ⅱ（22）、绝缘板（26）、绝缘套（27）、深沟球轴承（21）、轴承压盖（20）、轴承挡肩（18）、压帽Ⅰ（28）、垫圈Ⅰ（29）、密封圈Ⅰ（30）、密封压套Ⅰ（31）、密封圈Ⅲ（37）、压帽Ⅱ（32）、垫圈Ⅱ（33）、密封圈Ⅱ（34）、密封压套Ⅱ（35）；其连接关系为，所述精密位移平台（10）安装于阳极大板（7）的支板上，并通过绝缘板（26）和绝缘套（27）与阳极大板（7）绝缘，精密位移平台（10）的上台面通过绝缘支板（9）、阳极柱（8）和螺钉联接并产生联动；精密位移平台（10）的驱动轴端与条形板联轴器（11）通过螺钉联接，条形板联轴器（11）带动精密位移平台（10）的上台面做前后位移；阳极柱（8）通过绝缘支板（9）、精密位移平台（10）、条形板联轴器（11）的相互联接产生前后位移；所述的法兰座体（16）位于加速器大盖板（24）的中心轴线上，通过螺栓和真空密封圈联接在加速器大盖板（24）外端面上，法兰座体（16）正下方焊接有安装空心轴的安装座，正上方设置有观察窗（23），正下方的安装座中心轴线与精密位移平台（10）的驱动轴的中心轴线重合；所述的空心轴（15）位于法兰座体（16）的安装座的中心轴线上，通过止转螺母（17）、旋转手柄Ⅱ（22）和螺钉联接在法兰座体（16）的安装座内；所述空心轴（15）的一端设置有矩形螺纹，矩形螺纹面上开有导向槽，位于真空腔外，并与旋转手柄Ⅱ（22）通过螺钉联接，另一端的外表面光滑无螺纹，位于真空腔内，空心轴（15）在法兰座体（16）安装座的中心孔内做线性位移；所述细长轴（14）位于空心轴（15）的中心轴线上，通过深沟球轴承（21）、轴承压盖（20）、轴承挡肩（18）联接在空心轴（15）内；细长轴（14）的一端伸出空心轴（15）位于真空腔内，与波纹管联轴器（13）、U形钳状联轴器（12）依次通过螺钉联接，另一端伸出空心轴（15）位于真空腔外，与旋转手柄Ⅰ（19）通过螺钉联接；细长轴（14）在空心轴（15）内做旋转位移，通过联接在细长轴（14）一端的U形钳状联轴器（12）带动联接在精密位移平台（10）的驱动轴上的条形板联轴器（11）联动。