[发明专利]加热器的制备工艺有效
| 申请号： | 201510619326.7 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105154855A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 黎静;田青林;黎子兰 | 申请（专利权）人： | 唐山实为半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46 |
| 代理公司： | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人： | 明淑娟 |
| 地址： | 063020 河北省唐山*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加热器的制备工艺，属于加热器制备领域。该制备工艺，包括以下步骤：在加热体表面涂敷掩模；去除加热体表面部分掩模；刻蚀加热体暴露表面，形成一定的刻蚀深度；去除加热体表面剩余掩模。本发明的有益效果是：降低了生产成本；提高了加热体发热能力，且散热效果良好，提高了产品的使用寿命和使用温度范围；同时，通过选择合适的掩模去除比例，可以准确地控制刻蚀时暴露表面的大小，有利于严格控制刻蚀后发热体热发射率的大小，提高了产品性能的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种加热器的制备工艺，包括以下步骤：a、在加热体表面涂敷掩模；b、去除加热体表面积10%～90%的掩模；c、刻蚀加热体暴露表面，形成具有刻蚀深度的图案；d、去除加热体表面剩余掩模。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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