[发明专利]大放电间距下常温辉光放电低温等离子体材料处理装置在审
| 申请号： | 201510619687.1 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105555000A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 万京林;万良淏;万良庆 | 申请（专利权）人： | 南京苏曼等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 211199 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大放电间距下常温辉光放电低温等离子体材料处理装置，包括真空腔体、设置于真空腔体内部的上电极和下电极、设置于真空腔体上端的外加气氛接口、设置于真空腔体下端的抽气和泄气接口、设置于真空腔体一侧的真空腔门，还包括穿过真空腔体分别与上、下电极相连接的驱动电源，所述驱动电源为调制脉冲驱动电源，同时，在相对设置的上电极下表面和下电极上表面上，分别设置一层稀土元素氧化物镀层。本发明针对现有的低温等离子体材料处理装置存在的放电同时会产生大量的热能问题，提出了一种可在500~5000pa气压条件下产生均匀的辉光放电和接近常温的辉光放电低温等离子体的材料处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 放电 间距 常温 辉光 低温 等离子体 材料 处理 装置 | ||
【主权项】：
大放电间距下常温辉光放电低温等离子体材料处理装置，包括真空腔体、设置于真空腔体内部的上电极和下电极、设置于真空腔体上端的外加气氛接口、设置于真空腔体下端的抽气和泄气接口、设置于真空腔体一侧的真空腔门，还包括穿过真空腔体分别与上、下电极相连接的驱动电源，其特征在于：所述驱动电源为调制脉冲驱动电源，同时，在相对设置的上电极下表面和下电极上表面上，分别设置一层稀土元素氧化物镀层；所述驱动电源的基波为正弦波，频率在2000～20000Hz；所述驱动电源的调制波形为矩形波，频率在20～200Hz，占空比为1%～99%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京苏曼等离子科技有限公司，未经南京苏曼等离子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510619687.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种常压辉光等离子体装置
- 下一篇：一种开关及其控制方法、控制装置
