[发明专利]一种4H-SiC材料4°偏角三维原子结构模型及其构建方法和应用有效

专利信息
申请号: 201510622970.X 申请日: 2015-09-25
公开(公告)号: CN105260517B 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 李玲;王方方;李永平;郑柳;刘瑞;夏经华;田亮;杨霏 申请(专利权)人: 国网智能电网研究院;国家电网公司;国网安徽省电力公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 代理人: 徐国文
地址: 102211 北京市昌平区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种4H‑SiC材料4°偏角三维原子结构模型及其构建方法和应用。所述模型为4H‑SiC六方晶胞的周期性重复结构,晶胞参数为:α=90°,β=90°,γ=120°,所述晶胞由中心为硅原子的四面体构成,碳硅键长为所述模型上表面沿(0001)面向偏4°;所述模型以计算机辅助构建而成,方法步骤简单易行,其制作完全按照实际生产过程中对碳化硅表面的处理方法;本发明的4H‑SiC材料4°偏角三维原子结构模型可应用于碳化硅氧化原理、碳化硅欧姆接触、碳化硅外延等碳化硅材料与其他材料界面研究中,较通常使用的无偏角原子模型更接近于实际应用,研究结果与实际情况更接近,更具有参考价值。
搜索关键词: 偏角 原子结构模型 构建 三维 碳化硅 应用 计算机辅助 碳化硅表面 碳化硅材料 碳化硅外延 周期性重复 界面研究 晶胞参数 欧姆接触 其他材料 生产过程 氧化原理 原子模型 硅原子 六方晶 上表面 四面体 碳硅键 晶胞 参考 制作 研究
【主权项】:
1.一种4H‑SiC材料4°偏角三维原子结构模型,所述模型为4H‑SiC六方晶胞的周期性重复结构,晶胞参数为:α=90°,β=90°,γ=120°,所述晶胞由中心为硅原子的四面体构成,碳硅键长为其特征在于,所述模型上表面沿(0001)面向偏4°。
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