[发明专利]光成形物的生产方法及液体排出头的生产方法有效
申请号: | 201510623132.4 | 申请日: | 2015-09-25 |
公开(公告)号: | CN105467757B | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 堀内勇 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/16 |
代理公司: | 11398 北京魏启学律师事务所 | 代理人: | 魏启学<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 日本东京都大*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及光成形物的生产方法及液体排出头的生产方法。一种光成形物的生产方法,其包括将感光性树脂组合物以干膜形式粘帖至形成有基板表面开口的孔的基板上以封闭所述孔,并进行图案化,从而形成光成形物,其中所述感光性树脂组合物含有包括三官能以上的环氧树脂和二官能环氧树脂的树脂,所述二官能环氧树脂具有5,500至60,000的重均分子量(Mw),所述树脂具有4,500至11,000的范围内的重均分子量(Mw),所述三官能以上的环氧树脂和所述二官能环氧树脂之间的质量混合比满足(b)/(a)≤1.5,其中(a)为三官能以上的环氧树脂的质量,(b)为二官能环氧树脂的质量。 | ||
搜索关键词: | 成形 生产 方法 液体 出头 | ||
【主权项】:
1.一种液体排出头的生产方法,该方法包括,将感光性树脂组合物以干膜形式粘帖至形成有排出能量产生元件和液体的供给路径的基板上,其特征在于,所述感光性树脂组合物含有包括三官能以上的环氧树脂和二官能环氧树脂的树脂以及光酸产生剂,所述二官能环氧树脂具有5,500至60,000的重均分子量Mw,所述树脂具有4,500至11,000的范围内的重均分子量Mw,所述三官能以上的环氧树脂和所述二官能环氧树脂之间的质量混合比满足b/a≤1.5,其中a为所述三官能以上的环氧树脂的质量,b为所述二官能环氧树脂的质量,和将所述感光性树脂组合物粘帖至所述基板上使得不填充在液体供给路径中且覆盖所述液体供给路径的上表面。/n
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