[发明专利]具有用于电镀系统经分离阳极腔室压力调节的电解液环路及其用途有效
| 申请号： | 201510623134.3 | 申请日： | 2011-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN105154960B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·拉什;理查德·亚伯拉罕;戴维·W·波特;史蒂文·T·迈尔 | 申请（专利权）人： | 诺发系统有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及具有用于电镀系统经分离阳极腔室压力调节的电解液环路及其用途。电解液且特定来说阳极液可经由具有压力调节器的开环而循环，使得镀敷腔室中的压力维持在相对于大气压的恒定(或大体上恒定)值。在这些实施例中，压力调节器与阳极腔室流体连通。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 电镀 系统 分离 阳极 压力 调节 电解液 环路 及其 用途 | ||
【主权项】：
一种在衬底表面上电镀材料的方法，其包括：(a)将所述衬底表面浸没在反应容器中的阴极液中，所述反应容器包括：(i)经分离阳极腔室，其用于容纳阳极液和阳极；(ii)阴极腔室，其用于接纳衬底且使所述衬底与阴极液接触；以及(iii)分离结构，其定位于所述经分离阳极腔室与所述阴极腔室之间，所述分离结构包括输送障壁，所述输送障壁使得离子物质能够通过所述输送障壁，同时维持所述阳极腔室和所述阴极腔室中的不同电解液组成；(b)通过耦合到所述经分离阳极腔室的开环再循环系统循环阳极液，其中循环包括使所述阳极液流经压力调节装置，所述压力调节装置将所述阳极液暴露于大气压并因此将所述经分离阳极腔室中的所述阳极液维持在大体上恒定压力，其中所述压力调节装置在耦合到所述经分离阳极腔室的所述再循环系统中；以及(c)在所述衬底表面上电镀材料。
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