[发明专利]基于激光诱导击穿光谱技术的固体粉末在线检测装置

摘要

基于激光诱导击穿光谱技术的固体粉末在线检测装置，属于原子发射光谱测量技术领域。该装置包括激光诱导击穿光谱系统和固体粉末采样系统；固体粉末采样系统含有射流泵、空气压缩机、样品室和设置在样品室内的粉末输送管道。该装置通过气流输送固体粉末样品，同时在输送管道的管壁上开设检测孔，激光穿过检测孔聚焦并击穿固体粉末样品形成等离子体，等离子体发出的辐射光信号通过检测孔进入采集透镜，并且被输入光谱仪用于光谱分析。该装置能够防止固体粉末在运行过程中污染窗口镜片，保证测量信号的强度和重复性。

主权项

一种基于激光诱导击穿光谱技术的固体粉末在线检测装置，所述装置包括激光诱导击穿光谱系统和固体粉末采样系统；激光诱导击穿光谱系统包括入射单元、光信号接收单元以及数据分析单元(7)；入射单元含有脉冲激光器(1)、聚焦透镜(2)，光信号接收单元含有反射镜(3)、采集透镜(4)、光纤(5)和光谱仪(6)，其特征在于：固体粉末采样系统含有射流泵(12)、空气压缩机(14)、样品室(8)和设置在样品室内的粉末输送管道(9)；射流泵与粉末输送管道的入口通过管道相连通，空气压缩机(14)通过管道与样品室气体入口相连；在样品室上安装有窗口镜片(10)，在粉末输送管道管壁上与窗口镜片的中心线相交的位置开一个检测孔(11)，脉冲激光器(1)发出的激光通过中心开孔的反射镜(3)并且经过聚焦透镜(2)聚焦后，穿过窗口镜片击打到粉末输送管道的检测孔(11)中心，检测孔中心的固体粉末被击穿产生等离子体(13)，等离子体发出的辐射光信号依次透过窗口镜片(10)、聚焦透镜(2)，经过反射镜(3)反射进入采集透镜，然后通过光纤(5)进入光谱仪(6)用于光谱分析。