[发明专利]一种镓掺杂晶硅的制作方法在审
申请号: | 201510626436.6 | 申请日: | 2015-09-28 |
公开(公告)号: | CN105088341A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 陈伟;肖贵云;李林东;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本申请公开了一种镓掺杂晶硅的制作方法,包括:确定晶硅的目标电阻率;计算所需的镓原子数量;选择含镓化合物的种类;计算所需的所述含镓化合物的重量;将所述所需的含镓化合物进行装料;生长镓掺杂晶硅。本申请提供的上述镓掺杂晶硅的制作方法,由于利用含镓化合物制作镓掺杂晶硅,这类含镓化合物常温下为固态,便于储存和使用,而且单位质量的镓含量稳定,因此能够保证镓的掺杂更准确,保证对晶硅电阻率的准确控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 掺杂 制作方法 | ||
【主权项】:
一种镓掺杂晶硅的制作方法,其特征在于,包括:确定晶硅的目标电阻率;计算所需的镓原子数量;选择含镓化合物的种类;计算所需的所述含镓化合物的重量;将所述所需的含镓化合物进行装料;生长镓掺杂晶硅。
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