[发明专利]用于测量波前像差的方法和波前像差测量设备有效
| 申请号： | 201510626614.5 | 申请日： | 2010-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN105258922B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 田中一政 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 鲁山;孙志湧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波像差测量方法，其中通过将从光源发射的光施加到所要测试的镜头上并且通过检测透射通过所要测试的镜头的光而以提高的测量准确度测量波像差。该方法包括在所要测试的镜头的光圈打开时测量波像差的步骤；在所要测试的镜头的光圈关闭时测量所要测试的镜头的光瞳的中心位置的步骤；和使用光瞳的中心位置作为原点利用多项式展开波像差的步骤。还公开了一种波像差测量设备。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 镜头 光圈 波像差测量 波像差 测量波 光瞳 像差 测量 多项式展开 准确度测量 原点 波前像差 测量设备 光源发射 透射 施加 检测 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量波前像差的方法，该波前像差通过检测从光源发出的、在被测镜头上入射并且透射通过所述被测镜头的光而被测量，所述方法包括以下步骤：在所述被测镜头的孔径光阑完全打开的状态中测量波前像差；在所述孔径光阑缩小的状态中测量所述被测镜头的光瞳的中心的位置；和通过使所述光瞳的中心的位置作为原点而利用多项式展开在所述被测镜头的孔径光阑完全打开的所述状态中测量到的所述波前像差。
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