[发明专利]电子级多晶硅的制备方法及制备系统在审
| 申请号： | 201510627415.6 | 申请日： | 2015-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN105217636A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 仇春杰;茅陆荣;程佳彪;李广敏 | 申请（专利权）人： | 上海森松化工成套装备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 甘章乖 |
| 地址： | 200120 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级多晶硅的制备方法及制备系统，方法包括：将氢气和硅烷气体混合获得原料混合气体，所述原料混合气体中所述硅烷气体的摩尔百分比为3％～5％；预热所述原料混合气体；将预热后的所述原料混合气体送入一化学气相沉积炉进行反应获得电子级多晶硅；冷却尾气；对冷却后的所述尾气进行过滤除尘；将除尘过滤后的所述尾气通入冷氢化系统重新利用。由于采用了本发明的一种电子级多晶硅的制备方法及制备系统，可制备获得电子级多晶硅，具有能耗低、尾气成分比较单一容易处理和再利用、设备简单、操作方便、纯度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 多晶 制备 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种电子级多晶硅的制备方法，包括：将氢气和硅烷气体混合获得原料混合气体，所述原料混合气体中所述硅烷气体的摩尔百分比为3％～5％；预热所述原料混合气体；将预热后的所述原料混合气体送入一化学气相沉积炉进行反应获得电子级多晶硅；冷却尾气；对冷却后的所述尾气进行过滤除尘；将除尘过滤后的所述尾气通入冷氢化系统重新利用。
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