[发明专利]一种气体吸收装置及工艺

摘要

本发明公开了一种气体吸收装置及工艺。包括缓冲罐、一级吸收罐、二级吸收罐、发泡装置依次通过软管串联，且其底部均通过带有阀门的软管分别或汇总后与回收槽相连；其中缓冲罐的入口处连有并联的工艺尾气管道和分析尾气管道，其中两管道与缓冲罐连接处均带有阀门；缓冲罐内部设有隔板；所述两个吸收罐均分别设带有阀门的吸收液加料口；高纯氮气或压缩空气管道；压力表和真空管道并联连接在六氟化钨气体管道上，各管道通过阀门控制；分析检测仪器分别与六氟化钨气体管道和分析尾气管道相连，位于并联的高纯氮气管道；压力表和真空管道与分析尾气管道之间。本发明的装置具有结构简单、能耐腐蚀、吸收效果佳、节能环保、便于观察、无需检验等优点。

主权项

一种气体吸收装置，其特征在于，所述的气体吸收装置用于除去六氟化钨生产过程中产生的工业尾气，包括缓冲罐(8)、一级吸收罐(11)、二级吸收罐(12)、发泡装置(16)依次通过软管串联，其中缓冲罐(8)、一级吸收罐(11)、二级吸收罐(12)和发泡装置(16)的底部均通过带有阀门(15)的软管分别或汇总后与回收槽(17)相连；所述缓冲罐(8)、一级吸收罐(11)和二级吸收罐(12)均采用不锈钢材质，均为可拆卸清洗的密封装置，罐体与罐盖之间有四氟垫密封，并由螺丝固定，可耐腐蚀；所述软管为耐腐蚀软管；其中缓冲罐(8)的入口处连有并联的工艺尾气管道(7)和分析尾气管道(6)，其中工艺尾气管道(7)和分析尾气管道(6)与缓冲罐(8)连接处均带有阀门(15)；缓冲罐(8)内部设有隔板(9)所述一级吸收罐(11)和二级吸收罐(12)均分别设带有阀门(15)的吸收液加料口(14)；高纯氮气或压缩空气管道(2)，压力表(3)和真空管道(4)并联连接在六氟化钨气体管道(1)上，各管道通过阀门(15)控制；分析检测仪器(5)一端与六氟化钨气体管道(1)相连，一端与分析尾气管道(6)相连，位于并联的高纯氮气管道(2)，压力表(3)和真空管道(4)与分析尾气管道(6)之间；所述缓冲罐(8)的体积略大于一级吸收罐(11)和二级吸收罐(12)的入口伸入液面下可倒吸的最大体积之和；分析尾气通过分析尾气管道(6)或工业尾气通过工艺尾气管道(7)进入带有隔板(9)的缓冲罐(8)，在缓冲罐内累积并与氮气混合，如果发生吸收液倒吸，可打开缓冲罐(8)连接回收槽(17)的软管上的阀门(15)将倒吸的吸收液引入回收槽(17)内；当缓冲罐内的工业尾气与补充的氮气的混合气，压力达到一个大气压以上时，会通过连接软管依次进入一级吸收罐(11)和二级吸收罐(12)；尾气中的六氟化钨被其内部的吸收液吸收，不与吸收液发生反应的氮气经由发泡装置(16)排入大气中。