[发明专利]测试样品及其制备方法在审
| 申请号： | 201510631732.5 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN106556721A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 于倩倩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种测试样品及其制备方法，其中测试样品的制备方法包括形成基底，所述基底中形成有开口，所述开口侧壁上形成有多个悬空结构；在开口中形成支撑层，所述支撑层覆盖所述开口底部且与多个所述悬空结构相接触。本发明通过在基底内的开口中形成支撑层，所述支撑层覆盖所述开口底部且与多个所述悬空结构相接触。所述支撑层能够填充所述悬空结构与所述开口底部之间的空隙，能够支撑悬空结构以保护所述悬空结构，从而减小所述悬空结构在后续工艺中受损的可能，起到保护所述悬空结构的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 样品 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种测试样品的制备方法，其特征在于，包括：形成基底，所述基底中形成有开口，所述开口侧壁上形成有多个悬空结构；在开口中形成支撑层，所述支撑层覆盖所述开口底部且与多个所述悬空结构相接触。
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