[发明专利]晶片传输系统及晶片传输方法在审
| 申请号： | 201510632068.6 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN106558520A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 张鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的晶片传输系统及晶片传输方法，其包括依次设置的反应腔室、传输腔室和装载腔室，在各个腔室之间设置有门阀，其中，在传输腔室内设置有机械手，用于在反应腔室与装载腔室之间传输承载晶片的托盘；在装载腔室上设置有密封门；装载腔室包括片盒和用于驱动片盒作升降运动的升降装置，片盒用于支撑沿竖直方向间隔设置的至少两个托盘；片盒的结构被设置为使托盘可分别自片盒正对门阀的第一侧和正对密封门的第二侧移入或移出。本发明提供的晶片传输系统，其可以在进行工艺的同时，对片盒进行取放片操作，从而不仅可以提高晶片传输系统的传输效率，而且操作人员无需搬运片盒，从而可以更好地满足未来传输更大尺寸的托盘的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 传输 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种晶片传输系统，包括依次设置的反应腔室、传输腔室和装载腔室，在各个腔室之间设置有门阀，其中，在所述传输腔室内设置有机械手，所述机械手用于在所述反应腔室与所述装载腔室之间传输承载晶片的托盘；在所述装载腔室上设置有密封门；所述装载腔室包括片盒和用于驱动所述片盒作升降运动的升降装置，所述片盒用于支撑沿竖直方向间隔设置的至少两个所述托盘；其特征在于，所述片盒的结构被设置为：使所述托盘可分别自所述片盒正对所述门阀的第一侧和正对所述密封门的第二侧移入或移出。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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