[发明专利]卷对卷浸渍镀膜系统以及柔性透明导电材料的制备方法有效
申请号: | 201510632354.2 | 申请日: | 2015-09-25 |
公开(公告)号: | CN105355706B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 林清耿;刘江;陈治宇;王洋 | 申请(专利权)人: | 惠州易晖光电材料股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 蒋剑明 |
地址: | 516025 广东省惠州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明属于柔性透明导电材料镀膜功能化领域,具体涉及一种卷对卷浸渍镀膜系统和基于该系统的制备柔性透明导电材料的方法。所述卷对卷浸渍镀膜系统包括依次设置的放卷台、浸渍镀膜槽、清洗槽、收卷台;放卷台和收卷台之间还设置有卷对卷传动装置,卷对卷传动装置设置于浸渍镀膜槽和清洗槽的上方。所述制备柔性透明导电材料的方法,首先将柔性透明衬底进行磁控溅射镀覆本底膜层,然后采用卷对卷浸渍镀膜系统镀覆掩膜,再采用卷对卷磁控溅射工艺镀覆导电膜层,即得所述柔性透明导电材料。所得柔性透明导电材料具有绒面陷光结构,可作为薄膜太阳能电池的前电极;通过控制膜层厚度和微球绒面尺度,可制备出满足柔性触控面板需求的柔性透明导电材料。 | ||
搜索关键词: | 浸渍 镀膜 系统 以及 柔性 透明 导电 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种卷对卷浸渍镀膜系统,其特征在于,包括依次设置的用于放置柔性薄膜的放卷台、用于放置镀膜液的浸渍镀膜槽、用于放置清洗液的清洗槽、用于收取镀膜后的柔性薄膜的收卷台;所述放卷台和所述收卷台之间还设置有卷对卷传动装置,所述卷对卷传动装置设置于所述浸渍镀膜槽和所述清洗槽的上方;所述放卷台和所述卷对卷传动装置之间设有用于吸取柔性薄膜并对接到所述卷对卷传动装置的第一机器人;所述卷对卷传动装置和所述收卷台之间设有用于从卷对卷传动装置吸取柔性薄膜并对接到收卷台的第二机器人;所述卷对卷传动装置包括依次设置的传动电机、第一收放卷轴、用于固定柔性薄膜的支撑基底、用于将柔性薄膜贴合到所述支撑基底的贴合装置、至少两个镀膜段张力辊、支撑基底过渡装置、至少两个清洗段张力辊、用于将柔性薄膜与所述支撑基底分离的分离装置以及第二收放卷轴;所述镀膜段张力辊和所述清洗段张力辊位于所述第一收放卷轴和所述第二收放卷轴的下方;所述镀膜段张力辊和所述清洗段张力辊的轴线均与所述第一收放卷轴或所述第二收放卷轴平行;所有所述镀膜段张力辊的轴线位于同一水平面内,所有所述清洗段张力辊的轴线位于同一水平面内;所述支撑基底过渡装置设置于所述镀膜段张力辊和所述清洗段张力辊的上方;所述镀膜段张力辊设置于所述浸渍镀膜槽的上方且位于所述浸渍镀膜槽的两端,使所述支撑基底的下表面贴近镀膜液的液面;所述清洗段张力辊设置于清洗槽的上方且位于所述清洗槽的两端,使所述支撑基底的下表面贴近清洗液的液面。
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