[发明专利]SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法在审
| 申请号： | 201510635044.6 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105445498A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 李东洁;张越;盛宇佳 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02;G01Q20/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法，涉及微纳操作及控制领域。解决了在纳米操控领域，由于尺寸效应，易出现的纳米操作过程中轨迹规划困难及跟踪精度过低的问题。SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法包括以下步骤：步骤一、采用Attocube位移角与样本平台旋转角获得五次函数规划方法；步骤二、设计基于前馈和反馈联合控制的轨迹跟踪方法；步骤三、跟踪规划轨迹。本发明通过五次函数规划的轨迹，满足探针实际运动轨迹，且对微纳环境下轨迹跟踪的精度极高。本发明适用于微纳观环境下的探针轨迹规划及跟踪。 | ||
| 搜索关键词： | sem 下微纳 操作 探针 轨迹 规划 跟踪 方法 | ||
【主权项】：
SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法，其特征在是：采用五次函数规划方法对已取关键点的轨迹进行规划，并设计基于前馈和反馈联合控制的轨迹跟踪方法，确保轨迹规划的精度和轨迹跟踪的准确度。
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