[发明专利]一种坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法

摘要

本发明公开了一种坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法，坩埚自动存取柜包括柜体，柜体上开设有坩埚存取口，柜体内设有升降组件和吸附组件，吸附组件靠近坩埚存取口设置用于吸附需存取的坩埚，升降组件设于吸附组件的下方，升降组件上设有依次堆叠的数个坩埚，升降组件带动坩埚上下升降并与吸附组件配合以完成坩埚的存取。本发明设计合理、坩埚存放多、柜体空间小、存取过程方便快捷。

主权项

1.一种坩埚自动存取柜，包括柜体（1），所述柜体（1）上开设有坩埚存取口（11），其特征在于，所述柜体（1）内设有升降组件（2）和吸附组件（3），所述吸附组件（3）靠近坩埚存取口（11）设置用于吸附需存取的坩埚（4），所述升降组件（2）设于吸附组件（3）的下方，所述升降组件（2）上设有依次堆叠的数个坩埚（4），所述升降组件（2）带动坩埚（4）上下升降并与吸附组件（3）配合以完成坩埚（4）的存取，所述坩埚（4）的底部直径小于坩埚（4）的开口直径以使上下两个坩埚（4）间形成堆叠。