[发明专利]一种直接入射式光臂放大型一维线性测头有效
申请号: | 201510638317.2 | 申请日: | 2015-09-30 |
公开(公告)号: | CN105222715B | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 张白;韦海成;刘芳 | 申请(专利权)人: | 北方民族大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 林辉轮 |
地址: | 750021 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明公开了一种直接入射式光臂放大型一维线性测头,包括:用于发射激光束的激光源,用于接收激光源发射的激光束的光电探测器,用于固定激光源或光电探测器的测头基座,测头基座上设有用于检测的测杆和测球,用于使测头基座做直线运动的平移部件;以及根据光电探测器上所接收到的激光束入射位置变化值计算得到测球位移变化值的处理系统。该测头能够测量得到测头与被测工件接触导致的一维位移,以补偿被测工件定位时的测量偏差,进而获得更为准确的测量坐标;该测头提高了测量的精度,简化了结构,降低了生产成本,易于批量加工制造。 | ||
搜索关键词: | 一种 直接 入射 式光臂放 大型 线性 | ||
【主权项】:
1.一种直接入射式光臂放大型一维线性测头,其特征在于,包括:激光源(1),用于发射激光束(2);测头基座(4),所述测头基座(4)上设有所述激光源(1),以及用于检测的测杆(5)和测球(6);光电探测器(3),与所述激光源(1)相对设置,并且用于接收所述激光源(1)直接入射的激光束(2);平移部件,用于使所述测头基座(4)做直线运动;回复部件(8),用于将所述测头基座(4)回复至初始位置;处理系统,根据所述光电探测器(3)上所接收到的激光束(2)的位置变化值,计算得到所述测球(6)的位移变化值。
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