[发明专利]一种薄层材料方块电阻和连接点接触电阻测试方法有效
| 申请号： | 201510638371.7 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN105203847B | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 张步法 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;姚佳雯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄层材料方块电阻和连接点接触电阻测试方法，包括：在薄层材料的表面安装至少四个电极；对所述电极之间的电阻进行测量；根据理论模型，从测量的所述电极之间的电阻、和所述电极之间的距离计算所述薄层材料的方块电阻和电极接触电阻。本方法的主要特点是简单方便，是一种薄层材料方块电阻和电极接触电阻的无损检测方法，对电极分布没有严格要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄层 材料 方块 电阻 连接 点接触 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄层材料方块电阻和电极接触电阻测试方法，其特征在于，包括：在薄层材料的表面安装至少四个电极；对所述电极组合成不同的电极对；每个电极对（A，B）的电极之间的电阻（RABm）表达成：![]()
其中，R□是所述薄层材料的方块电阻，rA和rB分别是两个所述电极的半径，LAB是所述电极的中心之间的距离， RIA和RIB分别是两个电极与所述薄层材料的界面接触电阻，RCA和RCB分别是两个电极与所述薄层材料总的接触电阻，对所述不同的电极对的电极之间的电阻进行测量；利用最小方差的方法，从测量的所述电极之间的电阻、和电极中心之间的距离计算所述薄层材料的方块电阻和电极接触电阻。
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