[发明专利]一种低电阻透明导电薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201510639806.X | 申请日: | 2015-09-29 |
公开(公告)号: | CN105225728B | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 王洋;林清耿 | 申请(专利权)人: | 惠州易晖光电材料股份有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人: | 蒋剑明 |
地址: | 516025 广东省惠州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及光电子元器件领域,具体公开一种低电阻透明导电薄膜及其制备方法。所述低电阻透明导电薄膜包括具有若干无序孔洞结构的金属网孔薄膜层、层叠于所述金属薄膜层下表面的透明底膜以及层叠于所述金属薄膜层上表面的透明导电膜层。所述低电阻透明导电薄膜为先在衬底上沉积透明底膜,然后采用微球浸镀方法沉积一层具有若干无序孔洞结构的金属网孔薄膜层,再沉积一层透明导电膜层。因其金属网孔薄膜层具有独特的无序孔洞结构,使所述低电阻透明导电薄膜具有比现有技术中的透明导电膜更好的导电性、更高的可见光透过率以及中性的外观颜色。 | ||
搜索关键词: | 一种 电阻 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种低电阻透明导电薄膜,包括:具有若干无序孔洞结构的金属网孔薄膜层,所述无序孔洞结构在金属网孔薄膜层中的形状、大小及分布都呈随机状态,且任一单个无序孔洞结构的窄边宽度小于1000纳米、长度小于5000纳米;层叠于所述金属网孔薄膜层下表面的透明底膜;层叠于所述金属网孔薄膜层上表面的透明导电膜层。
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