[发明专利]一种硅片切割机用切削液去水结构有效
| 申请号： | 201510639958.X | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105235083B | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈小力;张光法 | 申请（专利权）人： | 浙江辉弘光电能源有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙)33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片切割机用切削液去水结构，解决了现有技术中硅片切割机用切削液去水装置去水效率低的技术问题。本发明提供的一种硅片切割机用切削液去水结构，包括预热箱、分流箱、分流阀和至少两个加热箱，切削液经预热箱预热，然后进入分流箱被分流阀分出至少两条支流，每条支流上均设置加热箱，预热后的切削液分流后再进行加热，大大提高了切削液去水结构的去水效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割机 切削 液去水 结构 | ||
【主权项】：
一种硅片切割机用切削液去水结构，其特征在于：包括供水管道(1)、预热箱(2)、分流箱(3)和至少两个加热箱(4)，所述供水管道(1)与预热箱(2)相通，所述预热箱(2)与分流箱(3)相通，所述分流箱(3)内设有将分流箱(3)内的切削液分出至少两条支流的分流阀(5)，每条支流上均设有加热箱(4)，所述加热箱(4)上设有排汽管(6)和排水管(7)，所述排汽管(6)和排水管(7)均与加热箱(4)相通；所述预热箱(2)内分别设有加热汽管(8)和加热水管(9)，所述加热汽管(8)和加热水管(9)均盘绕在预热箱(2)内，所述排汽管(6)均与加热汽管(8)相通，所述排水管(7)均与加热水管(9)相通，所述预热箱(2)上设有与加热汽管(8)相通的排汽嘴(10)，所述预热箱(2)上还设有与加热水管(9)相通的排水嘴(11)，所述预热箱(2)上还设有与供水管道(1)相通的供水口(12)，所述预热箱(2)与分流箱(3)之间通过输水管(13)相通，所述预热箱(2)上还设有与输水管(13)相接的输水嘴(14)，所述输水嘴(14)的水平高度高于供水口(12)的水平高度；所述加热箱(4)内设有加热体(15)；所述预热箱(2)上在位供水口(12)处还设有挡水板(16)，所述挡水板(16)通过支架(17)固定在预热箱(2)上，所述挡水板(16)与支架(17)通过焊接方式固定在一起，所述支架(17)通过螺钉固定在预热箱(2)上；所述输水管(13)上包裹有至少一层保温层；所述预热箱(2)上粘接有至少一层保温板(18)。
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