[发明专利]封装件中的非垂直贯通孔有效

专利信息
申请号: 201510641267.3 申请日: 2015-09-30
公开(公告)号: CN105990290B 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 黄震麟;张容华;高志杰;林俊成 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/485 分类号: H01L23/485;H01L23/535
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 封装件包括器件管芯、具有沙漏轮廓的贯通孔和成型材料,在该成型材料中模制器件管芯和贯通孔,其中成型材料的顶面与器件管芯的顶面基本齐平。介电层覆盖成型材料和器件管芯。多条再分布线(RDL)延伸到介电层中,以电耦接至器件管芯和贯通孔。本发明还提供了封装件中的非垂直贯通孔。
搜索关键词: 封装 中的 垂直 贯通
【主权项】:
一种封装件,包括:器件管芯;贯通孔,其中,所述贯通孔具有沙漏轮廓;成型材料,在所述成型材料中模制所述器件管芯和所述贯通孔,其中,所述成型材料的顶面与所述器件管芯的顶面基本齐平;介电层,覆盖所述成型材料和所述器件管芯;以及多条再分布线(RDL),延伸到所述介电层中,以电耦接至所述器件管芯和所述贯通孔。
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