[发明专利]一种快速制备材料的微波等离子反应装置

摘要

本发明公开了一种用于快速制备材料的微波等离子体反应装置，属于微波应用技术领域。包括等离子体激发装置、反应器和气压调节装置，等离子体激发装置为商用微波源；反应器放置在微波腔内，同时将反应物放置在反应器内；通过真空连接法兰和真空气体调节阀调整输入气体的压力。当工作气体通过通道到达微波区域时，在气体调节阀的调节下生成等离子体，并加热反应物。本反应装置能够在常温常压下持续工作，生成高纯度、高质量的材料，具有很好的工业应用前景。

主权项

1.一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：包括真空调节系统、等离子体激发装置和反应器，所述真空调节系统包括抽气装置、抽气管路和工作气接入管路，所述工作气接入管路与反应器的进气端、抽气管路与反应器的出气端分别通过真空密封连接头密闭连接，所述抽气管路还与抽气装置连接，在所述抽气管路和工作气接入管路上设置有气体调节阀，所述等离子体激发装置包括微波源、开关及微波腔室，所述反应器为U型管结构，所述反应器的反应区置于微波腔室内；反应物置于反应器底部，反应物为单质或化合物的粉体或块体；工作气体在位于等离子体激发装置内的反应器内被激发形成等离子体，并参与反应或用于加热。