[发明专利]低温泵

摘要

本发明的目的在于抑制真空处理装置中的再生时间的增加，并且延长低温泵的再生间隔。本发明的低温泵(10)具备低温泵容器(38)，其确定吸气口(12)；制冷机(16)，具备容纳于低温泵容器的第1冷却台(22)及第2冷却台(24)，第2冷却台冷却至低于第1冷却台的温度的温度；第1低温板(18)，与第1冷却台热连接，并被低温泵容器包围；及第2低温板(20)，与第2冷却台热连接，并被第1低温板包围。第1低温板具备板部件(32)，该板部件在吸气口处具有入口开口部。入口开口部以板部件的气传导率与吸气口的开口气传导率的比例成为6％以下的方式形成于板部件。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：低温泵容器，其确定低温泵吸气口；制冷机，具备容纳于所述低温泵容器中的第1冷却台及第2冷却台，所述第2冷却台冷却至低于所述第1冷却台的温度的温度；第1低温板，与所述第1冷却台热连接，并被所述低温泵容器包围；及第2低温板，与所述第2冷却台热连接，并被所述第1低温板包围，所述第1低温板具备入口低温板，该入口低温板在所述低温泵吸气口处具有入口开口部，所述入口开口部以所述入口低温板的气传导率与所述低温泵吸气口的开口气传导率的比例成为6％以下的方式形成于所述入口低温板。