[发明专利]一种直写式光刻机缩影物镜的倍率标定方法

摘要

本发明提供一种直写式光刻机缩影物镜的倍率标定方法，包括分别计算出基底上的标记图形通过缩影物镜到CCD这一条CCD观察光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率；分别计算出图形发生器通过缩影物镜到基底再由基底通过缩影物镜到CCD这一整条光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率；分别计算出图形发生器通过缩影物镜到基底这一条投影光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率。本发明解决了直写式光刻机对图形发生器到精密运动平台投影光路的倍率标定问题，利用特定光学结构，通过CCD相机与图形发生器及精密运动平台的特定位置关系获取实际缩影倍率，易于实现，标定精度高。

主权项

一种直写式光刻机缩影物镜的倍率标定方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将带有标记图形的掩膜版放置在基底上，所述基底安装在精密运动平台上；(2)将所述标记图形置于CCD视场内，CCD的平面与精密运动平台X轴、Y轴所组成的平面在空间上平行；(3)将精密运动平台分别沿X轴、Y轴方向移动一段固定距离，并使移动后的标记图形仍处于CCD视场之内；(4)分别计算出基底上的标记图形通过缩影物镜到CCD这一条CCD观察光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率；(5)制作两个与图形发生器视场同等大小的单色位图，两个单色位图中均包含两个标记图形，其中一个单色位图中的两个标记图形沿精密运动平台X轴方向具有固定距离，另一个单色位图中的两个标记图形沿精密运动平台Y轴方向具有固定距离；所述图形发生器平面与精密运动平台X轴、Y轴所组成的平面在空间上平行；(6)分别将制作的两个单色位图发送到图形发生器中，并在基底上放置能够反射来自图形发生器的光线的掩膜版；(7)分别计算出图形发生器通过缩影物镜到基底再由基底通过缩影物镜到CCD这一整条光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率；(8)采用以下公式，分别计算出图形发生器通过缩影物镜到基底这一条投影光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率：Rdx=RxRcx]]>Rdy=RyRcy]]>其中，Rdx、Rdy分别表示所述投影光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率，Rcx、Rcy分别表示所述CCD观察光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率，Rx、Ry分别表示所述整条光路沿精密运动平台X轴、Y轴方向的倍率。