[发明专利]一种新型光臂放大式三维线性测头

摘要

本发明公开了一种新型光臂放大式三维线性测头，包括：三条激光束；测头基座，包括三个反射面，以及用于检测的测杆和测球；三个光电探测器，分别用于接收测头基座反射的三条激光束；用于使测头基座做直线运动的平移部件；用于将测头基座回复至初始位置的回复部件；用于计算获得测球的三维位移变化值的处理系统。该新型光臂放大式三维线性测头通过三个光电探测器能够得到在三个不同直线方向的测头位移量，进而获得被测工件更为准确的测量坐标，提高了三维线性测头的测量精度，简化了结构，降低了生产成本，易于批量加工制造。

主权项

1.一种新型光臂放大式三维线性测头，其特征在于，包括：三条激光束，即激光束一(21)、激光束二(22)和激光束三(23)；测头基座(4)，包括至少三个反射面，其中三个反射面，即反射面一(41)、反射面二(42)、反射面三(43)，三个反射面分别用于反射三条所述激光束，所述测头基座上设有用于检测的测杆(6)和测球(7)；三个光电探测器，即光电探测器一(31)、光电探测器二(32)和光电探测器三(33)，分别用于接收所述测头基座(4)上所述反射面一(41)、反射面二(42)和反射面三(43)分别反射的所述激光束一(21)、激光束二(22)和激光束三(23)；平移部件，用于使所述测头基座(4)做直线运动，以改变所述测头基座(4)反射面上的所述激光束一(21)、激光束二(22)和激光束三(23)的反射点位置；回复部件，用于将所述测头基座(4)回复至初始位置；处理系统，根据所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)和光电探测器三(33)上分别获得的激光束一(21)，激光束二(22)和激光束三(23)反射位置变化值，计算得到所述测球(7)的三维位移变化值。