[发明专利]CVD石墨烯温度传感器、传感系统及温度传感器制备方法有效

专利信息
申请号: 201510645850.1 申请日: 2015-10-08
公开(公告)号: CN105222920B 公开(公告)日: 2019-01-25
发明(设计)人: 孙梦龙;吴云;霍帅 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第五十五研究所
主分类号: G01K11/32 分类号: G01K11/32
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 李昊
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种CVD石墨烯温度传感器、传感系统及温度传感器制备方法,其中的温度传感器为层状结构,自下而上依次包括刚性导热衬底层、石墨烯层、三氧化二铝缓冲层和三氧化二铝保护层。本发明的温度传感器与现有技术相比,其有益效果是:1)本发明装置结构简单,体积小,厚度薄,可粘结物体表面,易于操作。2)本发明装置的制备方法简单,无需电源和引线,可避免温度漂移。3)本发明装置整个结构在低温和高温下均可保持结构稳定,因而温度测量范围大,适用于多种环境。4)本发明装置的测量方法为非接触式,对待测物体影响小,能够实时监测。
搜索关键词: cvd 石墨 温度传感器 传感 系统 制备 方法
【主权项】:
1.一种基于CVD石墨烯温度传感器的传感系统,其特征在于:包括激光器(1)、入射光纤(2)、CVD石墨烯温度传感器(10)、出射光纤(11)、光谱分析仪(4)和计算机(5),激光器(1)发出的激光经过入射光纤(2)照射到CVD石墨烯温度传感器(10)的表面,所述CVD石墨烯温度传感器(10)反射激光信号经过出射光纤(11)传输至光谱分析仪(4)中,光谱分析仪将产生的数据信号传送至计算机(5)中;所述CVD石墨烯温度传感器为层状结构,自下而上依次包括刚性导热衬底层(6)、石墨烯层(7)、三氧化二铝缓冲层(8)和三氧化二铝保护层(9)。
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