[发明专利]CVD石墨烯温度传感器、传感系统及温度传感器制备方法有效
申请号: | 201510645850.1 | 申请日: | 2015-10-08 |
公开(公告)号: | CN105222920B | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 孙梦龙;吴云;霍帅 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
主分类号: | G01K11/32 | 分类号: | G01K11/32 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李昊 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种CVD石墨烯温度传感器、传感系统及温度传感器制备方法,其中的温度传感器为层状结构,自下而上依次包括刚性导热衬底层、石墨烯层、三氧化二铝缓冲层和三氧化二铝保护层。本发明的温度传感器与现有技术相比,其有益效果是:1)本发明装置结构简单,体积小,厚度薄,可粘结物体表面,易于操作。2)本发明装置的制备方法简单,无需电源和引线,可避免温度漂移。3)本发明装置整个结构在低温和高温下均可保持结构稳定,因而温度测量范围大,适用于多种环境。4)本发明装置的测量方法为非接触式,对待测物体影响小,能够实时监测。 | ||
搜索关键词: | cvd 石墨 温度传感器 传感 系统 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于CVD石墨烯温度传感器的传感系统,其特征在于:包括激光器(1)、入射光纤(2)、CVD石墨烯温度传感器(10)、出射光纤(11)、光谱分析仪(4)和计算机(5),激光器(1)发出的激光经过入射光纤(2)照射到CVD石墨烯温度传感器(10)的表面,所述CVD石墨烯温度传感器(10)反射激光信号经过出射光纤(11)传输至光谱分析仪(4)中,光谱分析仪将产生的数据信号传送至计算机(5)中;所述CVD石墨烯温度传感器为层状结构,自下而上依次包括刚性导热衬底层(6)、石墨烯层(7)、三氧化二铝缓冲层(8)和三氧化二铝保护层(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所,未经中国电子科技集团公司第五十五研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510645850.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。