[发明专利]极紫外光产生、收集系统及方法有效
| 申请号： | 201510647145.5 | 申请日： | 2015-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN106569391B | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 冯日盛;许琦欣;梁海亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种极紫外光产生、收集系统及方法，所述系统包括Sn滴装置，在轰击平面上沿圆形路径或水平直线产生Sn滴；光源产生单元，在轰击平面上产生与所述Sn滴做同步运动的脉冲激光，轰击所述Sn滴；反射镜收集单元，用于收集所述Sn滴被轰击后产生的极紫外光并进行汇聚反射；二次反射单元，接收所述反射镜收集单元反射的极紫外光，并将所述极紫外光进行二次汇聚反射到同一焦点上；以及同步控制单元，用于对所述光源产生单元、Sn滴装置以及二次反射单元进行同步协调控制。本发明在水平方向增加Sn滴的数量，提高了LPP光源的功率，且保证了脉冲EUV光的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 极紫外光 轰击 反射 光源产生单元 二次反射 收集单元 收集系统 反射镜 同步控制单元 汇聚 脉冲激光 水平直线 同步协调 同步运动 圆形路径 脉冲 光源 焦点 保证 | ||
【主权项】：
1.一种极紫外光产生、收集系统，其特征在于，包括：Sn滴装置，在轰击平面上沿圆形路径或水平直线产生Sn滴；光源产生单元，在轰击平面上产生与所述Sn滴做同步运动的脉冲激光，轰击所述Sn滴；反射镜收集单元，用于收集所述Sn滴被轰击后产生的极紫外光并进行汇聚反射；二次反射单元，接收所述反射镜收集单元反射的极紫外光，并将所述极紫外光进行二次汇聚反射到同一焦点上；以及同步控制单元，用于对所述光源产生单元、Sn滴装置以及二次反射单元进行同步协调控制，使每个所述脉冲激光都能够轰击到对应的所述Sn滴上，每个所述Sn滴被轰击后形成的极紫外光经过所述二次反射单元汇聚反射后汇聚到同一焦点上。
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