[发明专利]掩模整形装置有效
| 申请号： | 201510647164.8 | 申请日： | 2015-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN106569394B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李玲雨;许琦欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/64 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模整形装置，包括整形框架、整形玻璃、真空吸附气路及恒压控制气路，整形框架设在掩模边缘上方，并通过若干弹性部件连接掩模台；整形框架中部为中空结构，该中空结构与掩模相对应；整形玻璃固定罩设于整形框架的中空结构上；真空吸附气路与整形框架和掩模台的连接处连通，通过抽气和进气，控制整形框架与掩模接触和分离；整形框架与掩模接触使得中空结构被密封，恒压控制气路与中空结构连通，通过抽气和进气控制密封的中空结构内的气压恒定，补偿掩模由自重产生的变形。本发明掩模整形装置的固定和中空结构的密闭均通过真空吸附方式，没有增加额外的机械结构，降低了整机集成复杂度，避免了结构之间相互摩擦带来的颗粒污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 整形 中空结构 掩模 气路 整形装置 恒压控制 真空吸附 掩模台 抽气 连通 密封 真空吸附方式 玻璃固定 补偿掩模 弹性部件 机械结构 进气控制 颗粒污染 框架中部 气压恒定 掩模边缘 复杂度 密闭 进气 罩设 整机 变形 摩擦 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种掩模整形装置，安装在掩模台上方，用于补偿掩模由自重产生的变形，其特征在于，所述装置包括整形框架、整形玻璃、真空吸附气路及恒压控制气路，其中，所述整形框架设在所述掩模边缘上方，并通过若干弹性部件连接所述掩模台；所述整形框架的中部为中空结构，该中空结构与所述掩模相对应；所述整形玻璃固定罩设于所述整形框架的中空结构上，用于透光；所述真空吸附气路与所述整形框架和所述掩模台的连接处连通，通过抽气和进气，控制所述整形框架与所述掩模接触和分离；所述整形框架与所述掩模接触使得所述中空结构被密封，所述恒压控制气路与所述中空结构连通，通过抽气和进气控制密封的所述中空结构内的气压恒定，补偿所述掩模由自重产生的变形。
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