[发明专利]用于对计量系统编程三维工件扫描路径的方法有效
| 申请号： | 201510649868.9 | 申请日： | 2015-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN105509641B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | R.K.布赖尔 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 周少杰 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种对计量系统编程三维(3D)工件扫描路径的方法，该计量系统包括3D运动控制系统、第一类型Z高度感测系统、以及第二类型Z高度感测系统，该第二类型Z高度感测系统在较宽Z高度测量范围上提供较低精密表面Z高度测量。该方法包括：将代表性工件置于计量系统的台架上；对代表性工件定义至少第一工件扫描路径段；确定沿着第一工件扫描路径段的初步实际表面Z高度测量；以及确定用于移动第一类型Z高度感测系统的精密3D扫描路径以进行精密表面Z高度测量。该精密3D扫描路径基于确定的初步实际表面Z高度测量。精密3D扫描路径可以用于执行精密表面Z高度测量或者被存储以在检验程序中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 高度测量 感测系统 计量系统 精密表面 扫描路径 精密 第一工件 实际表面 编程 工件扫描 检验程序 控制系统 三维工件 台架 三维 存储 移动 | ||
【主权项】：
1.一种对第一类型Z高度感测系统编程三维(3D)工件扫描路径的方法，所述第一类型Z高度感测系统在计量系统中在较窄Z高度测量范围上提供较精密表面Z高度测量，所述计量系统包括3D运动控制系统、所述第一类型Z高度感测系统、以及第二类型Z高度感测系统，所述第二类型Z高度感测系统在所述计量系统中在较宽Z高度测量范围上提供较低精密表面Z高度测量，所述方法包括：将代表性工件置于所述计量系统的台架上，其中所述代表性工件匹配与所述代表性工件类似的多个工件且包含在超过所述较窄Z高度测量范围的范围上的表面Z高度；对所述代表性工件定义在开始XY坐标处开始而在结束XY坐标处结束的至少第一工件扫描路径段；操作所述3D运动控制系统和所述第二类型Z高度感测系统，以确定在位于近似沿着所述第一工件扫描路径段的相应初步XY坐标处的初步实际表面Z高度测量；确定用于移动所述第一类型Z高度感测系统的精密3D扫描路径，以在位于近似沿着所述第一工件扫描路径段的相应XY坐标处进行精密表面Z高度测量，其中所述精密3D扫描路径基于在所述相应初步XY坐标处确定的初步实际表面Z高度测量；以及将所述精密3D扫描路径存储在检验程序中，其中所述检验程序利用用于移动所述第一类型Z高度感测系统的所述精密3D扫描路径，以在位于近似沿着所述第一工件扫描路径段的相应XY坐标处进行精密表面Z高度测量，并且所述检验程序用于检验所述代表性工件或与所述代表性工件类似的多个匹配工件之一。
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