[发明专利]移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201510651366.X | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN105404097B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过基板支承构件(60)在Y步进定盘(20)上于扫描方向以既定行程移动，保持于该基板支承构件(60)的基板(P)即以被空气悬浮装置(59)从下方支承的状态于扫描方向以既定行程移动。又，由于具有空气悬浮装置(59)的Y步进导件(50)与基板支承构件(60)一起移动于交叉扫描方向，因此能使基板(P)往扫描方向及/或交叉扫描方向任意移动。此时，由于Y步进定盘(20)也与基板支承构件(60)及Y步进导件(50)一起移动于交叉扫描方向，因此基板支承构件(60)随时支承于Y步进定盘(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 物体 处理 曝光 平板 显示器 制造 方法 元件 | ||
【主权项】：
1.一种移动体装置，其具备：第1移动体，其保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的物体的端部，并且于至少所述二维平面内的第1方向以既定行程移动；第2移动体，其包含在所述第1移动体的在所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，并且能与所述第1移动体一起移动于在所述二维平面内与所述第1方向正交的第2方向；以及第3移动体，其与所述物体支承构件在至少所述第1方向于振动上分离，并且在所述第1移动体的在所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述第1移动体，能与所述第2移动体一起移动于所述第2方向；所述第1移动体，于所述第1方向，能在被所述第3移动体支承的状态下相对于所述第2移动体移动。
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