[发明专利]一种确定AlGaN外延层中Al组分的测试方法

摘要

本发明公开一种确定AlGaN外延层中Al组分的测试方法，包括步骤：S1、利用X射线衍射仪，以AlN层作为假设衬底，在样品104方向找出最强峰，以此最强峰为中心做ω-2θ同步单扫描曲线，根据测试样品在该曲线上找到一个中心点；S2、根据该中心点的角度值，选择ω以及ω-2θ的扫描范围和步进，做样品104方向倒易空间扫描；S3、从倒易扫描空间图谱中得到样品的弛豫度R_S；S4、继续以AlN缓冲层为假设衬底，做一个含盖AlN层及其外延层002方向的ω-2θ单扫描曲线；S5、根据样品的弛豫度R_S计算出实际的平均弛豫度R，根据平均弛豫度R调整Al组分，拟合出一个与002方向的ω-2θ单扫描曲线相吻合的摇摆曲线，由此确定AlGaN外延层中的Al组分。本发明测试时间短且效率高。

主权项

一种确定AlGaN外延层中Al组分的测试方法，其特征在于，该测试方法包括以下步骤：S1、利用X射线衍射仪的数据收集软件，以紫外探测器用外延材料样品中的AlN缓冲层作为假设衬底，在样品的104方向找出最强峰，以此最强峰为中心做一个ω‑2θ同步单扫描曲线，再根据所测试的样品在该曲线上根据最表层外延层倒易空间扫描图的峰值角度，找到一个介于表层与AlN缓冲层峰值角度之间的中心点；S2、根据这个中心点的角度值，选择ω扫描范围和步进以及ω‑2θ扫描范围和步进，再进入数据收集软件做样品的104方向倒易空间扫描；S3、从倒易空间扫描图谱中得到样品的弛豫度R_S；S4、继续以该样品中的AlN缓冲层为假设衬底，做一个含盖AlN缓冲层及其外延层002方向的ω‑2θ单扫描曲线；S5、根据所述样品的弛豫度R_S计算出样品实际的平均弛豫度R，在X射线衍射仪的数据分析软件中，再根据所述各个外延层的平均弛豫度R，调整各外延层的Al组分进行拟合，得到一个与步骤S4中测试的所述002方向的ω‑2θ单扫描曲线相吻合的摇摆曲线，并根据该摇摆曲线从分析软件中得到各外延层的组分，从而达到确定AlGaN外延层中的Al组分。