[发明专利]具取样率决定机制的量测抽样方法

摘要

一种具取样率决定机制的量测抽样方法，其是运用决定性样本(Determinative Samples；DS)集合中的所有工件的虚拟量测值的平均绝对误差百分比(Mean Absolute Percentage Error；MAPE)和最大绝对误差百分比(Max Absolute Percentage Error；MaxErr)来调整工件取样率。此量测抽样方法并结合可侦测出在生产过程中制程机台的各种状态改变(如执行机台保养、更换机台零组件、调整机台参数等)或机台信息异常(如制程数据品质不良、机台参数值漂移、量测数据品质不良等)的各式指标值，来建构出一自动取样决策(Automated Sampling Decision；ASD)机制，以在确保虚拟量测的精度下，降低工件量测抽测率。

主权项

1.一种量测抽样方法，其特征在于，包含：收集一制程机台处理多个历史工件的多组历史制程数据，及对应至所述多组历史制程数据的所述多个历史工件的多个历史量测值；进行一建模步骤，包含：使用所述多组历史制程数据和所述多个历史量测值来建立一推估模型，其中该推估模型的建立是根据一推估演算法；初始化一工件取样率1/N，该工件取样率为在该制程机台每处理过N个工件后选取第N个工件为一预期被量测的工件；将一工件加入至一决定性样本集合；获得该制程机台处理该工件的一组制程数据，及对应至该组制程数据的该工件的一实际量测值；输入该组制程数据至该推估模型，而计算出该工件的一虚拟量测值；计算出该工件的该虚拟量测值的一绝对误差百分比；判断该虚拟量测值的该绝对误差百分比是否大于该制程机台的一最大规格百分比，而获得一第一结果；当该第一结果为是时，对一超规计数加1；当该第一结果为否时，计算出该决定性样本集合中的所有工件的虚拟量测值的一平均绝对误差百分比并判断该平均绝对误差百分比是否大于或等于一平均绝对误差百分比的管制上限，而获得一第二结果；当该第二结果为是时，增加该工件取样率1/N，并清空该决定性样本集合且将该超规计数设为0；当该第二结果为否时，判断该决定性样本集合中的工件数量是否大于或等于一决定性样本数量的门槛值，而获得一第三结果；当该第三结果为否时，维持该工件取样率1/N不变；当该第三结果为是时，计算出该决定性样本集合中的所有工件的虚拟量测值的一最大绝对误差百分比，并判断该最大绝对误差百分比是否小于一最大绝对误差百分比的管制上限，而获得一第四结果；当该第四结果为是时，减少该工件取样率1/N，并清空该决定性样本集合且将该超规计数设为0；以及当该第四结果为否时，弃除该决定性样本集合中的最旧的工件并维持该工件取样率1/N不变。