[发明专利]贴合基板的刻划头装置有效
| 申请号： | 201510657283.1 | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN105601097B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 朱阮镛 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/07 | 分类号： | C03B33/07;C03B33/02 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的贴合基板的刻划头装置，即使是在构成贴合基板的各基板厚度不同的情形，亦能够获得良好的刻划品质。通过在与贴合基板3的上下各面相对向设置的一对刻划头的至少某一个，装附有对贴合基板3的表面喷射空气的非接触式空气轴承部30，从而即使是根据基板的厚度而使来自上部刻划头的负载与来自下部刻划头的负载不同的情形，亦能够维持力平衡，且能够在贴合基板的两面获得相同的分断精度。 | ||
| 搜索关键词： | 贴合 刻划 装置 | ||
【主权项】：
一种贴合基板的刻划头装置，是对贴合有第1基板(4)及第2基板(2)的贴合基板(3)的外面进行刻划，其特征在于，具有：第1刻划头(20)，配置于所述第1基板(4)侧，以第1刻划轮(22)对所述第1基板(4)进行刻划；以及第2刻划头(10)，配置于所述第2基板(2)侧，以第2刻划轮(11)对所述第2基板(2)进行刻划；在所述第1刻划头(20)及所述第2刻划头(10)的至少一个，装附有对所述贴合基板(3)的表面赋予加压力的非接触式空气轴承部(30)。
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