[发明专利]基板抽检方法

摘要

本发明提供了一种基板抽检方法，通过设置抽检频率和待抽检侧别信息，当基板到达时先通过基板计数判断是否达到抽检频率，再判断基板的侧别信息与待抽检侧别信息是否一致、及基板的侧别信息与已存储的基板的侧别信息是否相同，判定是否对基板进行抽检，通过加入侧别信息判断的步骤使得来自于不同制程舱及工作台的产品都能够被抽检到，避免因固定不变的抽检频率，导致每次抽检的基板均来自同一个制程舱或同一侧工作台而漏检存在缺陷的制程舱或工作台的问题，提高产品良率。

主权项

1.一种基板抽检方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一检测机，设n为正整数，预设检测机的抽检频率为n及一个或多个待抽检侧别信息，基板计数归零；提供数个基板，基板逐一进入检测机；步骤2、一基板到达检测机，基板计数以1为增量进行迭代累加，计算公式为：count＝count+1，其中count代表基板计数；步骤3、检测机根据基板计数判定是否达到抽检频率，如果达到抽检频率则继续进行步骤4，如果未达到抽检频率则继续判定基板计数是否与n相等，若相等则将基板计数归零后返回步骤2，若不相等则直接返回步骤2；步骤4、检测机识别基板的侧别信息，并判断基板的侧别信息与待抽检侧别信息是否相同、及基板的侧别信息与已存储的基板的侧别信息是否相同，若基板的侧别信息与待抽检的侧别信号相同且与已存储的基板的侧别信息不同则继续进行步骤5，否则将基板计数归零并返回步骤2；步骤5、检测机对基板进行检测并存储该基板的侧别信息；步骤6、检测机比较存储的基板的侧别信息与预设的待抽检侧别信息是否完全相同，若完全相同则清空存储的基板的侧别信息再返回步骤2，否则直接返回步骤2。