[发明专利]一种抗过载电容式三轴MEMS加速度计

摘要

本发明公开一种抗过载电容式三轴MEMS加速度计，包括设于衬底上的X轴向、Y轴向与Z轴向检测单元，X轴向、Y轴向与Z轴向检测单元分别设有X轴向、Y轴向与Z轴向应力释放梁，X轴向、Y轴向应力释放梁均呈“口”字型，分别设于各自的弹性梁上；Z轴向应力释放梁均包含两级呈“冂”字形的应力释放梁，设于Z轴质量块的开口侧；通过应力释放梁将应力集中区域由各自锚点与各轴向弹性梁的连接处扩展到整个弹性梁上，有效分担应力集中区域的应力；避免了加速度计受高过载冲击的影响，保证了加速度计能在高过载下正常工作，提高了加速度计的固有频率，振型更加稳定。

主权项

一种抗过载电容式三轴MEMS加速度计，包括设于衬底上的X轴向、Y轴向与Z轴向检测单元，X轴向检测单元包括框形的X轴向质量块，X轴向质量块的框间设有X轴向弹性梁，X轴向弹性梁的中部固定有X轴向锚体；Y轴向检测单元包括框形的Y轴向质量块，Y轴向质量块的框间设有Y轴向弹性梁，Y轴向弹性梁的中部固定有Y轴向锚体；X轴向质量块与Y轴向质量块的框间还分别设有敏感可动梳齿电极对以及驱动固定梳齿电极对；Z轴向检测单元包括呈H型的Z轴向质量块，Z轴向质量块的中部设有Z轴向锚体与Z轴向弹性梁，其特征在于，所述Z轴向质量块的两个开口侧分别设有相互对称的Z轴向应力释放梁，每个Z轴向应力释放梁均包含呈“冂”字形的一级应力释放梁与二级应力释放梁，二级应力释放梁横跨于相对应开口侧的两端，一级应力释放梁设于二级应力释放梁外侧的中部；每个二级应力释放梁外侧的中部还设有用于和衬底相连的副Z轴向锚体；所述X轴向弹性梁上设有呈“口”字型的X轴向应力释放梁，X轴向应力释放梁将X轴向锚体框在内部；所述X轴向应力释放梁四条边的中部分别设有X轴向应力释放凸点；所述Y轴向弹性梁上设有呈“口”字型的Y轴向应力释放梁，Y轴向应力释放梁将Y轴向锚体框在内部；所述Y轴向应力释放梁四条边的中部分别设有Y轴向应力释放凸点。