[发明专利]一种电容式压力传感器

摘要

本发明公开一种电容式压力传感器，包括固定电极与移动电极，移动电极包括上移动电极与下移动电极，上移动电极呈片状且底面设有环形凹槽，下移动电极由固支框、固支梁与移动质量块相键合构成，固支梁水平设于固支框内顶部，移动质量块设于固支梁底面中心；上移动电极感受到外部压力后，将压力传递给固支梁，使移动质量块朝向固定电极移动，移动质量块与固定电极间距的变化带来电容的变化，实现压力的测量，由于移动质量块的移动为整体平行移动，所以电容的变化具有良好的线性度，不会出现传统结构中移动电极不规则变形的情况，具有较高的线性度。

主权项

一种电容式压力传感器，包括固定电极与移动电极，其特征在于，所述移动电极包括上移动电极与下移动电极，上移动电极呈片状且底面设有环形凹槽，下移动电极由固支框、固支梁与移动质量块相键合构成，所述固支梁水平设于固支框内顶部，移动质量块设于固支梁底面中心，移动质量块顶面与底面均为平面；固支梁顶面中部与上移动电极的底面中部相键合，所述固支框的顶部与上移动电极的底面边缘相键合；所述固定电极的顶部设有凹槽，固支框的底部与固定电极的顶部相键合；固支框与固定电极的键合处还设有绝缘氧化层。