[发明专利]金属层-绝缘层-金属层电容器及其制作方法有效
| 申请号： | 201510660295.X | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN105304609B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 陈俭;张智侃 | 申请（专利权）人： | 格科微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L29/92;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属层‑绝缘层‑金属层电容器，适于应用于集成电路的片内电容，其包括：第一金属层，于第一金属层上定义有非电容区域、电容区域；于电容区域中的第一金属层表面上设置的若干围堰侧墙，围堰侧墙包括位于底部的第一介质层及位于第一介质层上的第一阻挡层，围堰侧墙对应有凹槽；于围堰侧墙和凹槽表面依次设置的电容下极板、电容介质层、电容上极板；于电容上极板上设置的导电塞层；于导电塞层上设置的第二金属层。本发明采用立体结构的MIM电容器，增加了电容上、下极板相对应的有效电极面积，提高了电容密度，可在有限的芯片面积上实现较大的电容值，满足了LCD驱动电路、RFCMOS电路等大电容集成电路的需求，适于应用于集成电路的片内电容。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 绝缘 电容器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属层-绝缘层-金属层电容器的制作方法，适于应用于集成电路的片内电容，其特征在于，包括如下步骤：/n提供第一金属层，于第一金属层上定义非电容区域、电容区域；/n于电容区域中的第一金属层表面上设置若干围堰侧墙，所述围堰侧墙包括位于底部的第一介质层及位于第一介质层上的第一阻挡层，所述围堰侧墙对应有凹槽；/n于围堰侧墙和凹槽表面依次设置电容下极板、电容介质层、电容上极板，于形成电容介质层的步骤之前去除非电容区域的电容下极板，于形成电容上极板的步骤之后去除非电容区域的电容介质层和电容上极板，使得电容介质层的边缘延伸越过电容下极板的边缘以电性隔离电容上极板和电容下极板；/n于电容上极板上设置导电塞层；/n于导电塞层上设置第二金属层。/n
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