[发明专利]一种集成了阵列波导光栅和光电探测器的光谱仪芯片

摘要

本发明涉及一种集成了阵列波导光栅和光电探测器的光谱仪芯片，包括基板、阵列波导光栅、微反射镜阵列、光电探测器阵列。所述光电探测器阵列、阵列波导光栅和微反射镜阵列都通过微细加工技术依次制作在基板上。输入光信号进入阵列波导光栅，并从阵列波导光栅的输出波导中输出，经与阵列波导光栅一一对应的微反射镜阵列传导到光电探测器阵列上转化为电信号。由于阵列波导光栅具有分光功能，本发明输出的电信号可表征输入光信号的光谱信息，从而实现光谱仪的功能。和传统的光谱仪相比，本发明单片集成了原有的光栅、透镜和CCD的功能，体积、重量小，可用微电子制造技术批量生产，成本低。

主权项

一种集成了阵列波导光栅和光电探测器的光谱仪芯片，其特征在于，包括基板、阵列波导光栅、光电探测器阵列、微反射镜阵列；阵列波导光栅的输出波导阵列、微反射镜阵列与光电探测器阵列一一对应设置；光信号从阵列波导光栅的输入波导进入阵列波导光栅，光信号中具有特定波长的光分别从输出波导阵列中的与特定波长对应的特定输出波导输出，经微反射镜阵列折射传导至光电探测器阵列中对应的光电探测器上，转换为电信号输出。