[发明专利]一种低应力加速度计

摘要

本发明涉及一种低应力加速度计，包括：a.衬底（13）中设有浅腔（2）以及衬底锚点（5）；b.电极结构层（1）中部设有的中心锚点（16），中心锚点（16）的两侧对称设有至少一个悬浮电极（4），悬浮电极（4）与下面的浅腔（2）对应配合，悬浮电极（4）的上表面设有向上活动间隙（11）；c.可动结构层（15），及其中设有的可动结构（10），其中部设有上层锚点（18）与中心锚点（16）对应键合连接；d.盖帽（14）。本发明具有如下优点：热应力对电极结构的影响大幅下降，使得电极结构在全温范围内几乎无形变，从而保证了器件在全温范围内左右两边电容的对称性，提高了传感器全温性能。

主权项

一种低应力加速度计，其特征在于包括：a.衬底（13），衬底（13）中部设有浅腔（2）以及衬底锚点（5）；b.与衬底（13）键合的电极结构层（1），电极结构层（1）中部设有与浅腔（2）对应的第一窗口（1a），第一窗口（1a）中部设有中心锚点（16），它用悬臂梁（17）连接于电极结构层（1）上，中心锚点（16）与衬底锚点（5）对应键合连接；第一窗口（1a）中心锚点（16）的两侧对称设有至少一个悬浮电极（4），悬浮电极（4）与下面的浅腔（2）对应配合，悬浮电极（4）的上表面低于电极结构层（1）上表面一段距离，该距离即为悬浮电极（4）向上活动间隙（11）， 悬浮电极（4）两侧分别设有折叠固支梁（7）与电极结构层（1）连接；  c. 与电极结构层（1）键合的可动结构层（15），可动结构层（15）中部设有与第一窗口（1a）相应的第二窗口（15a），第二窗口（15a）中设有可动结构（10），可动结构（10）与下面的悬浮电极（4）形成活动间隙（11），可动结构（10）中部设有上层锚点（18），上层锚点（18）与下面的中心锚点（16）对应键合连接；可动结构层（15）一侧设有一组pad点（3），每个pad点（3）分别设有电极引线（6），中间的电极引线（6）与下面电极结构层（1）中的悬臂梁（17）对应键合连接，两侧的电极引线（6）分别与下面电极结构层（1）中的折叠固支梁（7）对应键合连接；d. 与可动结构层（15）键合的盖帽（14）。